Fokusprodukter:
Få fart på halvlederutvikling og automatisering
Velkommen til din erfarne utviklings- og automatiseringspartner for mekatronikk og bevegelsesstyring. Vi støtter deg med høyhastighets utvikling og bruksklare løsninger gjennom hele verdistrømmen for halvledere og elektronikk.
Over 20 år med erfaring kombinert med rask respons
Øk hastigheten fra laboratoriet til fabrikken – med tett samarbeid fra den første prototypen. Gjør det enkelt med bruksklare mekatroniske undergrupper og presis bevegelsesstyring utformet for din anvendelse. De passer alle enkelt og sømløst inn i din maskindesign. Mestre skalerbarhet med kopinøyaktig produksjon. Dra nytte av bærekraft og lang levetid med våre egenproduserte kvalitetskomponenter. Våre ekspertingeniørteam er alltid tilgjengelige for all støtte.
Frontend
Wafertransport OHT
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Rammestruktur
- Lastekapasitet
- Grensesnitt mot OHT
- Sikkerhets- og renromshensyn
Produktkategori:
KOMPONENTER
Stiverprofiler og koblingselementer av aluminium til renrom
FORDELER
- Anodisert aluminium for redusert partikkeldannelse
- Dekking av åpne T-spor med spordeksler for samsvar med renromsstandarder
- Kompatibilitet med ISO-klasse 3–4-miljøer
-
Monteringsbraketter og festeinnretninger
(M8 rustfritt eller sterkere) motstår vibrasjon
Waferrengjøring – Waferhåndteringssystem for rengjøring av waferpartier
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Sprutfri waferbevegelse
- Minimert partikkelforurensning
Produktkategori:
UNDERGRUPPE
Håndtering av waferpartier:
Smidig, presis transport av waferskåler gjennom hvert trinn av våtrengjøringsprosessen
FORDELER
-
Presisjonsteknikk
Flerakset bevegelsesstyring og rykkbegrenset løfting muliggjør svært presis waferhåndtering. Sikrer repeterbar, jevn bevegelse for minimal mekanisk belastning. -
Høy gjennomstrømming og effektivitet
Optimalisert for kontinuerlig, rask waferoverføring uten at det går på bekostning av sikkerhet eller nøyaktighet. Øker produktiviteten samtidig som den opprettholder jevn prosesskvalitet. -
Forsiktig og sprutfri håndtering
Utformet for å minimere mekanisk og kjemisk belastning på wafere. Sikrer integriteten til sensitive waferoverflater under våtbehandling.
Faktaark: Waferhåndteringssystem for rengjøring av waferpartier
Waferrengjøring – Waferhåndteringssystem for rengjøring av enkelwafere
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Kompatibilitet med alle store CMP- og metrologiske plattformer
- SEMI E84/E87-samsvar
Produktkategori:
UNDERGRUPPE
Håndtering av en enkelwafere:
Høypresisjons wafertransportløsning for rengjøring av enkelwafere mellom CMP og nedstrømsprosess
FORDELER
-
Høypresisjons transport
Sikrer nøyaktig og stabil waferbevegelse mellom CMP og nedstrøms prosesser. Minimerer feiljustering av wafere og håndteringsfeil. -
Sømløs CMP-integrering
Utformet spesielt for overføring mellom CMP-utstyr og etterfølgende rense- eller behandlingsstasjoner. -
Høy gjennomstrømming og effektivitet
Optimalisert for rask wafertransport uten at det går på bekostning av presisjon. Forbedrer den totale prosessytelsen og produksjonseffektiviteten.
Faktaark: Waferhåndteringssystem for rengjøring av enkelwafere
Deponering
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
-
Renhets- og kontamineringskontroller:
Minimum ISO 5 renromsstandard. Ingen smøremidler som avgir gass eller danner partikler – ofte tørre lagre eller vakuumkompatible smørefett -
Temperatur- og materialkompatibilitet:
Toleranse for prosesstemperaturer (opptil ~450°C for CVD, høyere for noe PVD) uten deformasjon
Produktkategori:
UNDERGRUPPE
Pinneløft av wafer:
Vårt waferhåndteringssystem for deponering garanterer nøyaktige løfte- og posisjonsfunksjoner
FORDELER
-
Nøyaktig løfting og støtte av wafere
Sikrer nøyaktig løfting og senking av wafere under deponering, og forhindrer overflatekontakt som kan skade ømfintlige filmer. -
Kompatibilitet med vakuum og renrom
Laget av ultrarene materialer med lav gassutskillelse for å oppfylle strenge krav til vakuum og renrom -
Stabil, repeterbar posisjonering
Gir repeterbarhet på mikrometernivå for jevn filmtykkelse og presis prosessjustering
Etsing – Waferhåndteringssystem for lasting i etsing
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Pålitelig, kontaminasjonsfri waferoverføring til kritiske etsemiljøer
- Presis justering, sikker posisjonering og jevn overføring mellom kassetter, FOUP-er og etsekamre
Produktkategori:
UNDERGRUPPE
Levering av ultra-pålitelig, kontaminasjonsfri waferoverføring til kritiske etsemiljøer
FORDELER
-
Presisjonsjustering og -posisjonering
Sikrer nøyaktig wafersentrering og -orientering for pålitelig overføring til etsekamre. -
Sømløs integrering av automatisering
Fullt kompatibel med robotarmer, FOUP-lastere og systemer for fabrikkautomasjon (FA) med høy gjennomstrømning. -
Høy syklusholdbarhet
Bygget for kontinuerlig drift døgnet rundt med dokumentert lang mekanisk levetid og minimale vedlikeholdskrav.
Etsing – Waferhåndteringssystem for våtetsing
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Egnet for rengjøring før og etter etsing
- Høykvalitets fjerning av partikler og rester
- Minimert kjemikalieforbruk og waferbelastning
Produktkategori:
UNDERGRUPPE
Toppmoderne rengjøringssystem med for enkelwafere, for våt presisjonsbehandling i halvlederproduksjon
FORDELER
-
Posisjonsnøyaktighet på mikronivå
Nøyaktig kontroll av løftehøyde sikrer riktig justering med sprøyte-, nedsenknings- eller dispenserdyser. -
Ultralav partikkelgenerering
Ren, kontaktoptimalisert mekanikk for å minimere kontaminering ved korrosiv våtbehandling. -
Automatiseringsklar
Sømløs integrering med håndteringssystemer for våtbenk og robot-overføringsmoduler.
CMP
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
-
Forsiktig håndtering:
Jevne akselerasjonsprofiler for å hindre at waferen sklir eller brekker -
Rent miljø:
Antistatisk utforming for redusert partikkeltiltrekning -
Presis posisjonering:
Nøyektig justering av wafere ved inngangsporten til det neste verktøyet -
Integrasjon:
Kommunikasjon med lasteportene og fabrikkautomasjonen til begge verktøyene.
Produktkategori:
UNDERGRUPPE
Polering av sentrifugeenheter:
System for ultra-presis waferhåndtering ved kjemisk mekanisk planarisering
FORDELER
-
Stabil rotasjonskontroll
Utviklet for jevn, vibrasjonsfri rotasjonsbevegelse for å oppnå feilfrie planaroverflater. -
Kjemisk og slambestandig
Materialer konstruert med korrosjonsbestandige komponenter for å motstå slipende slam og aggressive CMP-kjemikalier. -
Sømløs verktøyintegrering
Fullt kompatibel med automatisert waferhåndtering og CMP-plattformer for prosessautomatisering.
Waferinspeksjon og -testing
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Presisjon og nøyaktighet
- Gjennomstrømning og syklustid
- Renhets- og kontamineringskontroller
Produktkategori:
LØSNINGSPAKKE
Waferinspeksjon og -testing med ctrlX MOTION og lineærsystem
FORDELER
-
Retthet og flathet på lineære skinner:
≤ 1 µm/100 mm -
Posisjonsrepeterbarhet:
≤ ±0,5 µm (X/Y), ≤ ±1 µrad (rotasjon) - Flerakset koordinert bevegelse med rykkbegrensede profiler for jevne, raske bevegelser
- Bevegelsesstyring for lukket sløyfe med baneplanlegging for X/Y/Z/θ-akser
- Integrasjon med SECS/GEM
Backend
Baksliping av wafer
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Lineær posisjonering på submikronnivå
- Samsvar med renromsstandarder
- Høy stivhet, vibrasjonsdemping
- Spindelsynkronisering
Produktkategori:
LØSNINGSPAKKE
ctrlX MOTION med lineærakse og integrert diagnostikk
FORDELER
- Drivenheter med lite dødgang – høy overflatekvalitet
- Høy repeterbarhet – færre vrakprodukter
- Skalerbart kontrollsystem – passer til alle størrelser
- Integrert diagnostikk – redusert vedlikehold
- Forhåndsdefinerte bevegelsesprofiler – rask idriftsettelse
Waferkutting
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Høyhastighets, XY-bevegelse uten dødgang
- Synsbasert banekorrigering
- Repeterbarhet på submikronnivå
- Renromsklasse 5–6
Produktkategori:
LØSNINGSPAKKE
Bevegelsesløsning med XYZ-kontroller ved bruk av ctrlX CORE
FORDELER
- Høyhastighets posisjonering – raskere kutt
- Stabil bevegelse – presis knivbevegelse
- Kompakte moduler – klar for renrom
- Åpne automatiseringsgrensesnitt – enkel PLC/HMI-tilkobling
- Diagnoseverktøy – rask feilsøking
- Energieffektive drivenheter – lavere kostnader
Brikketesting
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
-
Trinnbevegelse:
Repeterbarhet – synkronisering med optikk/sensorer, varmekompensasjon -
Chuckbevegelse:
Jevn akselerasjon/retardasjon, posisjoneringsnøyaktighet (XYZ) -
Aktivt dempet wafertrinn:
Presis bevegelse, repeterbarhet, nøyaktig posisjonering
Produktkategori:
LØSNINGSPAKKE
Løsninger for trinn- og chuckbevegelser med ctrlX MOTION, drivenheter og kontrollere samt lineærsystemer
FORDELER
- Nøyaktig waferjustering med inspeksjonsoptikk
- Hindrer at wafere sklir eller vibrerer
- Konsekvent bevegelse over tid – prosesstabilitet på tvers av temperaturområdet
- Subnanometer presisjon for feildeteksjon
- Nøyaktig aktivering av kameraer eller sensorer ved bevegelse
Die-bonding (brikkebonding)
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Repeterbarhet
- Høy posisjoneringsnøyaktighet
- Varmekompensasjon og forskyvningskorrigering
- Synkronisering med inspeksjonsoptikk/sensorer
Produktkategori:
LØSNINGSPAKKE
Grunnleggende bevegelsesløsning for bonding (ctrlX Motion) + tvungen sløyfe-integrering
FORDELER
- Komponenter med presis Z-kraftkontroll for bonding av høy kvalitet
- EtherCAT-integrering for smidig kommunikasjon
- Løsningspakke med tilpassbar HMI og kontrollogikk – mindre feil, sikker bruk
- Tilbakemelding i sanntid – redusert svinn
- Fleksibel systemintegrasjon
Brikkestøping
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Overvåking av kraft/posisjon for formpresse
- Stive, varmestabile akser
- Prosessforsegling og -renslighet
- Aktuering av parallelle akser
Produktkategori:
LØSNINGSPAKKE
Kraftig bevegelsessett med lukket sløyfe-kontroll (ctrlX MOTION)
FORDELER
- Komponenter for presis formlukking – uten hydraulikk
- Enkelt vedlikehold – lite nedetid
- Lukket sløyfe-trykk og -posisjon – høy stabilitet
- Tilpassede bevegelsesprofiler – produktspesifikt kontroller
- Redusert kabling – renere skap
Sluttkontroll
DINE VERDISTRØMSBEHOV …
- Indeksering ved høy hastighet
- Integrasjon med testere
- Repeterbar posisjonering
- Ren bevegelse og sikkerhet
- Dataregistrering
Produktkategori:
LØSNINGSPAKKE
ctrlX S-MOTION med modulbasert HMI og visuelt grensesnitt
FORDELER
- Komponenter som tillater høy dynamikk og presisjonsbevegelse – for raske testsykluser og nøyaktige resultater
- MES-klare tilkoblingsmuligheter – digital fabrikktilpasning
- Skalerbar bevegelsesmaskinvare og -programvare – enkle oppdateringer
- Fleksibel integrering med eksisterende testlinjer – redusert CAPEX
Elektronikkproduksjon
Overflatemontering (Surface Mount Technology – SMT)
Lodding
Fokusprodukter:
Inspeksjon
Fokusprodukter:
Brikketransport
Finn den riktige automatiseringsløsningen for dine utfordringer
Utforsk Bosch Rexroths katalog over bruksområder: en dynamisk samling av ekte automatiseringsoppgaver, matchet med de rette produktene, verktøyene og ekspertpartnerne. Katalogen veileder deg fra idé til utførelse, fra å identifisere den ideelle løsningen for utfordringen din til å fremskynde implementeringen med godkjente maler.
Smartere løsninger for halvlederproduksjon
Utforsk våre avanserte løsninger for hele halvlederprosesskjeden, fra renromsertifiserte komponenter for waferhåndtering til dynamiske systemer for brikketesting. Denne videoen fra Semicon Europa 2025 viser våre nyeste innovasjoner.
Produsert for skalerbarhet
Tillit, hastighet og et felles språk – dette er fordelene ved å samarbeide med vårt globale team av eksperter. Vi er lokalisert i hjertet av halvlederbransjens ledende aktører, og samler et bredt spekter av kompetanse. Utover ledende utvikling kan du stole på et ekstremt høyt nivå av vertikal integrasjon, noe som gjør produktene våre uavhengige av problemer i forsyningskjeden. Med vårt globale produksjonsnettverk er vi der du er.
